特許

J-GLOBAL ID：200903047413284238

圧電素子及びその製造方法、アクチュエータ及びその製造方法、インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法

発明者： 橋爪 勉
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-130106
公開番号（公開出願番号）：特開平10-315465
出願日： 1997年05月20日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：

【要約】【課題】 動作中の破壊を押さえ、圧電特性の優れたインクジェット式記録ヘッドの提供。【解決手段】 圧電素子を構成する上部電極、下部電極および圧電体薄膜の水素の含有量を1011個/cm2以下である圧電素子で構成され、インクチャンバーキャビティの形成後の熱アニール工程によって圧電素子内の水素の濃度を減少させる工程を特徴とする製造方法である。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上に、少なくとも下部電極、圧電体薄膜および上部電極が形成された圧電素子において、前記圧電体薄膜及び/または前記下部電極及び/または前記上部電極の水素密度が1011個/cm2以下である圧電素子。

IPC (4件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09

FI (3件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 薄膜型容量素子、半導体装置および半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-138689   出願人：松下電子工業株式会社
• 圧電/電歪膜型素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-203831   出願人：日本碍子株式会社