積層型ガスセンサ素子の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-264228
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071629
出願日： 2000年08月31日
公開日（公表日）： 2002年03月12日
要約：

【要約】【課題】積層型ガスセンサ素子自体の反りの発生が非常に少なく、使用時の剥がれ、クラック等をほとんど発生せず、高い耐久性を備える積層型ガスセンサ素子を安定して得ることができる積層型ガスセンサ素子の製造方法を提供する。【解決手段】アルミナ粉末、ジルコニア粉末、バインダ樹脂、溶剤を用いてスラリーを調合し、ドクターブレード法により、基体用未焼成シートを作製する。一方、同様なセラミック原料粉末を用い、セラミック原料粉末の単位表面積あたりのバインダ量が同じである保護層用未焼成シートを作製する。固体電解質体用未焼成体を挟んで、一方側に、焼成後緻密であり絶縁性の基体となる、上記基体用未焼成シートを積層し、他方側に、焼成後多孔質であり絶縁性の保護層となる上記保護層用未焼成シートを積層し、得られた積層体を一体に焼成する。

請求項（抜粋）：

基体用未焼成体と、多孔質体用未焼成体とを、固体電解質体用未焼成体を挟んで対向するように積層して未焼成積層体を形成し、次いで、該未焼成積層体を一体に焼成する積層型ガスセンサ素子の製造方法であって、上記基体用未焼成体と上記多孔質体用未焼成体との焼成時の収縮率の差が1200〜1550°Cにおいて常に±3%以内であることを特徴とする積層型ガスセンサ素子の製造方法。

IPC (2件)：

G01N 27/409 , G01N 27/416

FI (2件)：

G01N 27/58 B , G01N 27/46 371 G

Fターム (3件)：

2G004BB04 , 2G004BJ03 , 2G004BM07

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平2-276956
特開昭60-228955
特開昭55-078245

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