露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-300200
公開番号（公開出願番号）：特開平8-137112
出願日： 1994年11月10日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】液晶ディスプレー用ガラスプレートを製造する際の歩留りの向上を図る。【構成】ガラスプレート3を固定するためのチャック1と、該チャックに載置されたガラスプレートを該チャックから搬送分離するためのハンド4と、該ガラスプレートを除電するためのイオナイザ7を備えた露光装置において、該ガラスプレートの静電気を測定するための静電気測定器6を設け、その静電気測定器で該ガラスプレートの帯電位を監視しながら該ガラスプレートの搬送速度を制御する。

請求項（抜粋）：

ガラスプレートを固定するためのチャックと、該チャックに載置されたガラスプレートを該チャックから搬送分離するためのハンドと、該ガラスプレートを除電するためのイオナイザと、該ガラスプレートの静電気を測定するための静電気測定器と、その静電気測定器で該ガラスプレートの帯電位を監視しながら該ガラスプレートの搬送速度を制御するコントローラとを具備することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (1件)

ワーク搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-009407 出願人：株式会社ニコン

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