特許
J-GLOBAL ID：200903047549267671
小型ブロードバンド変換器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山本 秀策
, 安村 高明
, 森下 夏樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-300831
公開番号（公開出願番号）：特開2007-116721
出願日： 2006年11月06日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：
【課題】変換器の低周波ロールオフが良好に制御された堅い音響シールを提供可能な小型シリコン変換器を提供すること。【解決手段】コンデンサマイクロフォンのような固体状態の微小構造の複数の実施形態が開示される。1実施形態に従って、変換器は、固定の穿孔部材、穿孔部材から間隔を空けて配置された自由に移動可能な振動板、振動板と周囲近辺の穿孔部材との間の適切な間隔を維持する穿孔部材にある支持リング、および、振動板が支持リングの上に自由に留まるが、振動板を穿孔部材から機械的に分離するコンプライアントな懸架バネを含む。別の実施形態に従って、シリコンベースデバイスに使用される隆起型微小構造が開示される。隆起型微小構造は、膜を支持するリブ構造の側壁を有する略平坦な膜を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
シリコンベースのデバイスおいて用いられる隆起型微小構造であって、
該隆起型微小構造は、
略平坦な薄膜と、
該薄膜を支持する側壁と
を含み、
該側壁は、該側壁内部に形成された少なくとも一つのリブを有する、隆起型微小構造。
IPC (3件)：
H04R 19/04
, H04R 19/01
, H01L 29/84
H04R19/04
, H04R19/01
, H01L29/84 Z
4M112AA06
, 4M112BA07
, 4M112CA01
, 4M112CA03
, 4M112CA04
, 4M112CA12
, 4M112EA03
, 4M112EA04
, 4M112EA05
, 4M112EA06
, 4M112EA07
, 4M112EA11
, 4M112FA01
, 5D021CC05
, 5D021CC08
, 5D021CC10
