プラズマ発生装置およびそれを用いるワーク処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：小谷悦司 , 伊藤孝夫 , 樋口次郎 , 平田晴洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-093512
公開番号（公開出願番号）：特開2007-273096
出願日： 2006年03月30日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：

【課題】基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置において、確実かつ速やかにプラズマ(プルーム)点灯を行わせる。【解決手段】プラズマ発生ノズル31において、中心導電体32の下端部322を、沈胴式に伸胴および縮胴自在な外筒部3221および内筒部3222から構成する。そして、電磁ソレノイド38によって、プラズマ点火時は内筒部3222の下端部3222aの先端面3222cをノズル本体33の下端縁331よりも後退させ、定常点灯時は内筒部3222の下端部3222aの先端面3222cをノズル本体33の下端縁331よりも突出させる。したがって、点火時に、処理ガスは、電界の集中する下端部3222a付近から下端縁331付近を通過することになるので、分子→原子→プラズマへと変化し易く、確実かつ速やかにプラズマ(プルーム)点火を行わせることができる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

同心状の内側導電体と外側導電体とを有するプラズマ発生ノズルを用い、両導電体間に高周波のパルス電界を印加することで、両導電体の先端部付近にグロー放電を生じさせてプラズマを発生させ、それらの間にガス供給源からの処理ガスを供給することで、吹出し口のノズルから常圧下でプラズマ化したガスを被処理ワークに放射するプラズマ発生装置において、プラズマ点火時に、相対的に、外側導電体の先端面に対して内側導電体の先端面を後退させる点火補助手段を含むことを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (4件)：

H05H 1/24 , H01L 21/306 , C23C 16/511 , H01L 21/304

FI (4件)：

H05H1/24 , H01L21/302 101E , C23C16/511 , H01L21/304 645C

Fターム (12件)：

4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030FA01 , 4K030JA09 , 4K030KA30 , 4K030LA15 , 5F004AA16 , 5F004BA20 , 5F004BB14 , 5F004BB29 , 5F004BC06 , 5F004CA07

引用特許：

出願人引用 (1件)

プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-254622 出願人：積水化学工業株式会社

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