特許
J-GLOBAL ID：200903047592636249
IC検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-326237
公開番号（公開出願番号）：特開平7-151824
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】 ウインドウストローブ信号を自由に設定して測定デバイスの良否判定を行うことができるIC検査装置を提供する。【構成】 ストローブ信号S1を入力とする分周回路1、ストローブ信号S2を入力とする分周回路2、分周回路1の出力信号とストローブ信号S1を入力とする論理積回路3、分周回路2の出力信号とストローブ信号S2を入力とする論理積回路4、論理積回路3・4の出力信号をそれぞれ入力とする区間判定パルス発生器7・8、区間判定パルス発生器7の信号7aと測定デバイス9の信号9aと期待パタンデータ信号PDを入力し信号7aの信号幅の間に信号9aと期待パタンデータ信号PDを比較する良否判定回路11、区間判定パルス発生器8の信号8aと測定デバイス9の信号9aと期待パタンデータ信号PDを入力し信号8aの信号幅の間に信号9aと期待パタンデータ信号PDを比較する良否判定回路12、並びに良否判定回路11・12の信号11a・12aを合成して良否結果判定信号15aを出力する合成回路15とを備える。
請求項（抜粋）：
ストローブ信号に基づいて所定の信号幅のウインドウストローブ信号を発生する区間判定パルス発生器(7,8) と、前記ウインドウストローブ信号の信号幅の間で測定デバイス(9) にテストパタン信号を加えて得られた信号を期待パタン信号と比較して良否を判定する良否判定回路(11,12) とを備えるIC検査装置において、良否判定回路(11,12) を複数設け、これら複数の良否判定回路(11,12) に前記ウインドウストローブ信号を交互に入力し、複数の良否判定回路(11,12) の出力を合成することを特徴とするIC検査装置。
引用特許：
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