特許
J-GLOBAL ID：200903047600675461
超音波顕微鏡によるLSAW伝搬特性測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-065417
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258216
出願日： 1998年03月16日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 薄い試料の表面上の広範囲な音響特性分布の真値を短時間で求める。【解決手段】 超音波顕微鏡により、試料面上のある1点における漏洩弾性表面波速度の周波数特性(図6A)を測定し、その結果から換算曲線(図8A)を作成する。また、他の各測定点において2つの周波数で漏洩弾性表面波速度を測定し(図7A)、その2つの測定値の差分(図7B)と換算曲線(図8A)の対応関係から試料裏面からの反射による音速変化(図9A)を見積もる。見積った音速変化を測定値から差し引くことにより補正を行なう(図9B)。
請求項（抜粋）：
超音波顕微鏡により、薄い試料に対して試料表面を伝搬する漏洩弾性表面波(LSAW)の伝搬特性を測定する方法において、上記試料の裏面からの反射波の影響によるLSAWの伝搬特性の変化を、周波数特性から作成した換算曲線を用いて補正することにより、上記試料表面上の伝搬特性の分布を得ることを特徴とするLSAW伝搬特性測定方法。
IPC (2件)：
G01N 29/20 501
, G01N 29/18
G01N 29/20 501
, G01N 29/18
