特許
J-GLOBAL ID:200903047633367770
高品位ダイヤモンドの形成方法
発明者:
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松田 正道
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-198592
公開番号(公開出願番号):特開平6-048717
出願日: 1992年07月24日
公開日(公表日): 1994年02月22日
要約:
【要約】【目的】 非ダイヤモンド成分を、損傷を与えることなく、確実、容易に除去する高品位ダイヤモンドの形成方法の提供。【構成】 加熱した、ダイヤモンドあるいはダイヤモンド薄膜を冷却する過程において、少なくとも酸素を含む雰囲気に晒すことによって、ダイヤモンドの非ダイヤモンド成分を除去し、ダイヤモンドの絶縁性や熱伝導性などの諸特性を高める。
請求項(抜粋):
加熱された、ダイヤモンドあるいは基板素材上に堆積されたダイヤモンド薄膜を、少なくとも酸素を含む雰囲気に晒すことを特徴とする高品位ダイヤモンドの形成方法。
IPC (2件):
引用特許:
審査官引用 (2件)
-
特開昭63-055197
-
特開昭49-127894
前のページに戻る