特許

J-GLOBAL ID：200903047640439493

投影露光装置

発明者： 白石 直正
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-037897
公開番号（公開出願番号）：特開平5-234848
出願日： 1992年02月25日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：

【要約】【目的】 輪帯照明法を行うときの光量損失を低減する。【構成】 投影露光装置の照明光学系のフライアイレンズに入射する照明光束の径をズーム光学径で可変とし、フライアイレンズの射出面側に照明光束の中央部を遮光する絞りを設ける。

請求項（抜粋）：

露光すべきパターンが形成されたマスクを露光光で照明する照明系と、前記マスクのパターンを感光基板上に結像投影する投影光学系とを備えた装置において、前記照明系は、前記マスクのパターン面に対してフーリエ変換の関係にある面を通る露光光の大きさを可変とする可変光学部材と、前記フーリエ変換の関係にある面、もしくはその近傍に配置されて前記露光光の中央部付近を遮光、又は減光する絞り部材とを有することを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 S

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 照明装置及びそれを用いた投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-225221   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平4-102513
  
• 輪帯照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-253284   出願人：日本電気株式会社