特許

J-GLOBAL ID：200903047686105590

固体撮像装置

発明者： 村上 一朗
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-307952
公開番号（公開出願番号）：特開平10-150179
出願日： 1996年11月19日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】 固体撮像装置において、フレア及びゴーストを防止し、封止が不要で、酸アルカリに腐食されない保護膜となり、かつシリコン半導体に対して金属元素の混入による歩留まり低下を起しにくい反射防止膜を有する固体撮像装置を提供する。【解決手段】 マイクロレンズ24の表面に、フッ化アルミニウムからなる反射防止膜26を形成する。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された受光部の上方にマイクロレンズが設けられた固体撮像装置において、前記マイクロレンズ表面にフッ化アルミニウムからなる反射防止膜を有することを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/148 ,  H01L 31/0232

FI (3件)：

H01L 27/14 D ,  H01L 27/14 B ,  H01L 31/02 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-259256
  
• 特開平3-242602
  
• 光学薄膜及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-271992   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平4-061277