走査型プローブ顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-069594
公開番号（公開出願番号）：特開平5-231814
出願日： 1992年02月19日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：

【要約】【目的】試料に合わせて最適な観察光学系や走査型プローブ顕微鏡を容易に選択可能な構成を持つ光学顕微鏡一体型の走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】試料台(103,203)と、試料台に対峙する対物レンズ(101)と、対物レンズと試料台との間に間挿される探針(102,201)とを有するプローブユニット(100,200)を基台ユニット(50)に対して着脱可能に設けると共に、試料(206)を照明する照明光学系(30)と、試料像を結像するための結像光学系(20)とからなる光学ユニット(40)の構成を変更可能としたことにより、測定すべき試料に最も適した光学ユニット及びプローブユニットを容易に選択可能とした光学顕微鏡一体の走査型プローブ顕微鏡。

請求項（抜粋）：

観察光学系と一体に組み込まれ、光学観察と同時に探針による試料測定が可能な走査型プローブ顕微鏡において、試料台と、試料台に対峙する対物レンズと、対物レンズと試料台との間に間挿される探針とを有するプローブユニットと、試料を照明する照明光学系と、試料像を結像するための結像光学系とを有する光学ユニットと、上記プローブユニットと光学ユニットとを支持する基台ユニットと、を具備したことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01B 7/34 , G01B 21/30 102 , G02B 21/00 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭56-112377
特開平3-071001
特開平3-180811

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