制御された環境の間で物品を転送するシステム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小橋一男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-188525
公開番号（公開出願番号）：特開平10-116876
出願日： 1997年07月14日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ウエハがカセット内にスタックされている間にウエハが垂直方向に移動されることを回避することにより粒子汚染が発生することを回避する技術を提供する。【解決手段】キャリアドアー100がカセットを包囲体内において垂直方向に固定し且つ水平方向に移動させるためにプラットホームの一部を形成するポートドアー104上に位置する。キャリアカバー80は、キャリアドアーからアンロックされると、ポートプレート90と係合し、エレベーター機構が下側位置と上側位置との間でポートプレートを移動させると、それと共に垂直方向に移動する。下側位置において、ポートドアーはポートプレートによって画定されている包囲体の開口を閉塞する。上側位置において、ポートプレートはキャリアカバーを上昇させて、ウエハ処理装置によってカセット内のウエハへアクセスすることを可能とする。

請求項（抜粋）：

2つの制御された環境の間で物品を転送する転送システムにおいて、第一の制御された環境を画定しており且つカバーを具備すると共に前記カバーの底部における開口を閉塞するためのドアーを具備する物品キャリア、前記キャリアドアー上に少なくとも1個の物品を支持するホルダー、前記物品を処理する装置の周りに第二の制御された環境を画定する包囲体、可動ポート部材によって画定されており前記包囲体におけるポート開口を閉塞するポートドアーであって、前記キャリアドアー及び前記物品ホルダーを前記包囲体内に支持するためのプラットホームの少なくとも一部を形成しており且つ前記可動ポート部材が前記キャリアカバーを垂直移動させるべく係合すべく適合されているポートドアー、前記ポートドアーが前記ポート開口を閉塞する下側位置と、前記物品処理装置によって前記物品ホルダーへのアクセスを可能とするために前記ポート部材が前記キャリアカバーを垂直方向に上昇させる上側位置との間で前記ポート部材を垂直方向に移動させるリフト手段、を有することを特徴とする転送システム。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65G 49/00 , B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/00 C , B65G 49/07 L

引用特許：

審査官引用 (2件)

真空処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-089342 出願人：株式会社荏原製作所
特開平3-290946

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