特許

J-GLOBAL ID：200903047731501230

テラヘルツパルス光測定装置

発明者： 叶内 義紀
出願人/特許権者： 株式会社栃木ニコン
代理人 (2件)： 渡辺 隆男 ,  永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-186736
公開番号（公開出願番号）：特開2008-014815
出願日： 2006年07月06日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：

【課題】折り返しミラーの移動動作に起因する所定光時間遅延からのずれを補正することができるテラヘルツパルス光測定装置の提供。【解決手段】光時間遅延のために折り返しミラー13を駆動するディレイステージ15と、ディレイステージ15を移動可能に支持し、ディレイステージ15の移動時の反力を吸収する移動可能な支持部32と、レーザー光の光路中に挿入されるように支持部32に固定され、入射光および反射光の各光軸が折り返しミラー13の移動方向と一致する光カウンターミラー19とを備え、ディレイステージ15の移動動作に起因する所定光時間遅延からのずれを、光カウンターミラー19により補正する。その結果、折り返しミラー13の揺れの影響を低減することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

折り返しミラーを移動することにより、テラヘルツ光発生器またはテラヘルツ光検出器に入射するレーザー光の光時間遅延を生成し、テラヘルツパルス光の測定を行うテラヘルツパルス光測定装置において、 前記光時間遅延のために前記折り返しミラーを駆動するディレイステージと、 前記ディレイステージを移動可能に支持し、前記ディレイステージの移動時の反力を吸収する移動可能なカウンター部材と、 前記レーザー光の光路中に挿入されるように前記カウンター部材に固定され、入射光および反射光の各光軸が前記折り返しミラーの移動方向と一致する光カウンターミラーとを備え、 前記ディレイステージの移動動作に起因する所定光時間遅延からのずれを、前記光カウンターミラーにより補正することを特徴とするテラヘルツパルス光測定装置。

IPC (2件)：

G01N 21/35 ,  G02B 26/08

FI (2件)：

G01N21/35 Z ,  G02B26/08 E

Fターム (19件)：

2G059AA02 ,  2G059AA03 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059LL01 ,  2G059LL03 ,  2G059MM01 ,  2G059MM10 ,  2G059NN03 ,  2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体の電気特性評価装置および電気特性評価方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-282497   出願人：株式会社栃木ニコン, 株式会社ニコン