特許
J-GLOBAL ID：200903047745485180
ペリクルおよびペリクルの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-237773
公開番号（公開出願番号）：特開平11-065092
出願日： 1997年08月19日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ペリクル枠に変形がなく、かつペリクル膜にしわやたるみのないペリクルの提供を目的とするものである。【解決手段】 ペリクル枠にペリクル膜を接着させる接着処理が行われる前のペリクル枠の形状に対して、前記接着処理後のペリクル枠の変形量が0.15%以内であるペリクルである。この場合、接着処理によりペリクル枠に接着されたペリクル膜の面積が、144cm2 以上であることが好ましい。このようなペリクルを得る方法の一つとして、ペリクル枠にペリクル膜を接着させる接着処理を行う際、もしくはこの接着処理の後に、ペリクル膜の膜張力を緩和させるためにペリクルに対して加熱処理を施す方法がある。
請求項（抜粋）：
ペリクル枠にペリクル膜を接着させる接着処理が行われる前のペリクル枠に対して、接着処理後のペリクル枠の変形量が0.15%以内であることを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G03F 1/14 K
, H01L 21/30 502 P
, H01L 21/30 503 G
