特許

J-GLOBAL ID：200903047871628078

ペリクル及びその製造方法

発明者： 浜田 裕一 ,  樫田 周
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-103553
公開番号（公開出願番号）：特開平8-114912
出願日： 1995年04月27日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はペリクル膜と金属製フレームとを接着させた膜の歪みやシワなどのない、接着強度が強靭なペリクルの提供を目的とするものである。【構成】 本発明のペリクルの製造方法は、加熱接着により膜が接着剤で金属製フレームに接着されているペリクルにおいて、ペリクル膜を高周波加熱により金属製フレームに加熱接着させることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

加熱接着により膜が接着剤で金属製フレームに接着されているペリクルにおいて、ペリクル膜を高周波加熱により金属製フレームに加熱接着させてなることを特徴とするペリクル。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• リソグラフィー用ペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-245827   出願人：信越化学工業株式会社
• 特開平4-212958