特許
J-GLOBAL ID：200903047760919103
真空ポンプ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
藤田 考晴
, 田中 重光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-242099
公開番号（公開出願番号）：特開2004-076708
出願日： 2002年08月22日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
【課題】アルミニウム合金製等の動翼保護を目的とする冷却の影響を受けることなく、特にポンプ機構の損傷や破損を招く部分における固化物の堆積を防止するという課題の解決を目的とする。【解決手段】ガスの吸気口22と排気口23とを有するケーシング21内に動翼32を備えた回転体31と静翼25を備えた静止体24とを具備してなるポンプ機構30が配設され、吸気口22から吸引したガスを排気口23から排出するように構成された真空ポンプに関するもので、吸気口22から排気口23に至るケーシング21内のガス流路に連通し、ガスの昇華温度よりも低い温度となるトラップ部27を設け、該トラップ部27内で積極的に固化させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ガスの吸気口と排気口とを有するケーシング内に動翼を備えた回転体と静翼を備えた静止体とを具備してなるポンプ機構が配設され、前記吸気口から吸引したガスを前記排気口から排出するように構成された真空ポンプであって、
前記吸気口から前記排気口に至るケーシング内のガス流路に連通し、前記ガスの昇華温度よりも低い温度となるトラップ部を設けたことを特徴とする真空ポンプ。
IPC (3件)：
F04D29/52
, F04D19/04
, F04D29/70
F04D29/52 B
, F04D29/52 E
, F04D19/04 G
, F04D29/70 N
3H031DA02
, 3H031EA03
, 3H031FA31
, 3H031FA36
, 3H034AA02
, 3H034BB03
, 3H034BB08
, 3H034BB17
, 3H034CC03
, 3H034DD01
, 3H034DD24
, 3H034EE04
, 3H034EE17
