特許
J-GLOBAL ID：200903047792586912
冷却媒体移送式冷却装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
池澤 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-366039
公開番号（公開出願番号）：特開2000-213845
出願日： 1998年12月09日
公開日（公表日）： 2000年08月02日
要約：
【要約】【課題】 動作範囲が大きなイオン注入装置などにおけるプラテンその他の被冷却物に追従してこれを液体窒素その他の冷却媒体により冷却し、効率的な冷却作用が可能な冷却媒体移送式冷却装置を提供すること。【解決手段】 液体窒素を移送可能な配管をリンク構造とすること、リンク構造を多節として屈伸可能とし、イオン注入装置などにおける三次元方向設定角度可変型装置など動作範囲の大きな装置に追従可能とすることに着目したもので、冷却媒体を第1の方向(たとえば軸方向)へ移送可能な第1の移送リンク28と、第1の方向に交差する第2の方向(たとえば軸方向に直角な方向)に冷却媒体を移送可能な第2の移送リンク29と、第2の移送リンク29および第1のリンク28を相対的に回動可能に連結可能な回動継ぎ手部33と、を備えた多節リンク23を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
冷却媒体を被冷却物に移送してこれを冷却する冷却媒体移送式冷却装置であって、前記冷却媒体を第1の方向へ移送可能な第1の移送リンクと、この第1の方向に交差する第2の方向に前記冷却媒体を移送可能な第2の移送リンクと、この第2の移送リンクおよび前記第1のリンクを相対的に回動可能に連結可能な回動継ぎ手部と、を備えた多節リンクを設けたことを特徴とする冷却媒体移送式冷却装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F25D 3/10 C
, H01L 21/265 603 Z
3L044AA02
, 3L044AA04
, 3L044BA05
, 3L044CA13
, 3L044DB03
, 3L044KA04
