特許

J-GLOBAL ID：200903047896795904

薄膜センサエレメント及びその製造方法

発明者： 鳥井 秀雄 ,  鎌田 健 ,  林 重徳 ,  平尾 孝 ,  高山 良一 ,  服部 益三
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-006067
公開番号（公開出願番号）：特開平8-070143
出願日： 1995年01月18日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：

【要約】【目的】中央部分に貫通した空間部分のあるセンサ保持基板の上に、電極膜Aと、(100) 面配向を有する電極膜Bと、前記電極膜Aと前記電極膜Bとの間に存在する圧電性誘電体酸化物膜を備えた多層膜構造体を固着することにより、小型・軽量で精度がよく、かつコストの安価な加速度センサエレメント、焦電型赤外線センサエレメント等の薄膜センサエレメントを提供する。【構成】平板型のKBr基板1 の表面上に、プラズマMOCVD法で基板表面に対して垂直方向が<100>方向に結晶配向した岩塩型結晶構造の導電性NiO膜12を形成し、スパッタ法でその表面上にPZT膜をエピタキシャル成長させてPZT膜4を形成し、その表面上にNi-Cr電極膜15 を形成し、次に多層膜を反転させて中央部分に貫通した空間部分のあるセンサ基板7 に接着剤20で接着し、接続電極19を接続した後、全体を水洗処理することにより、KBr基板1 を除去する。

請求項（抜粋）：

中央部近傍に略矩形断面の開口部を有するセンサ保持基板の上に、電極膜Aと、(100)面配向を有する電極膜Bと、前記電極膜Aと前記電極膜Bとの間に存在する圧電性誘電体酸化物膜を少なくとも備えた多層膜構造体を固着した薄膜センサエレメント。

IPC (4件)：

H01L 37/02 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  G01P 15/125

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 赤外線センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-157388   出願人：山武ハネウエル株式会社
• 特開昭62-063825
  
• 特開昭62-000821
  
• 特開昭60-171425