特許

J-GLOBAL ID：200903047918742478

温度調節装置およびデバイス製造装置

発明者： 牧田 義範
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-151264
公開番号（公開出願番号）：特開2005-332287
出願日： 2004年05月21日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：

【課題】 本発明は、温度調節を精度よく行うことができる温度調節装置及び該温度調節装置を備えたデバイス製造装置を提供する。【解決手段】 主ヒータ及び補助ヒータと、該ヒータによって加熱された流体の温度を計測する温度センサと、温度計測信号を入力してヒータへの出力指令値を演算する温度補償器と、主ヒータにAC電源を供給する第1電源出力供給手段と、補助ヒータに出力指令信号に比例したDC電源電圧を供給する第2電源出力供給手段と、主ヒータに供給される電力を測定するヒータ出力検出部と、ヒータ出力検出部で測定された出力検出信号と、温度補償器から出力される出力指令値との誤差を演算して補助ヒータの出力指令値とする誤差補正手段と、主ヒータ供給電力と出力指令値の誤差を検出して補助ヒータの出力指令値として出力する誤差検出部を有し、主ヒータへの供給電力と出力指令値の誤差を補助ヒータ出力指令値として出力することを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

室内に備えられた装置本体を恒温に保つための恒温室と、該恒温室を温度制御するための空調機とを備える温度調節装置において、温度制御用の媒体を加熱する主ヒータ及び補助ヒータと、前記主ヒータおよび補助ヒータによって過熱された媒体の温度を計測する温度センサと、前記温度センサからの温度信号を入力してヒータへの出力指令値を演算する温度補償手段と、前記主ヒータに電源を供給する第1の電源出力供給手段と、前記補助ヒータに電源を供給する第2の電源出力供給手段とを備える温度調節装置において、前記主ヒータの出力状態を検出するヒータ出力検出手段と、前記ヒータ出力検出手段から出力されたヒータ入力検出信号を入力し、前記温度補償手段から出力される出力指令値との誤差を演算する誤差補正手段を有し、前記誤差補正手段から出力される出力誤差信号を用いて前記補助ヒータを制御することを特徴とする温度調節装置。

IPC (3件)：

G05D23/19 ,  H01L21/027 ,  H05B3/00

FI (3件)：

G05D23/19 M ,  H05B3/00 310D ,  H01L21/30 502H

Fターム (33件)：

3K058AA42 ,  3K058AA72 ,  3K058BA00 ,  3K058BA14 ,  3K058CA61 ,  3K058CB07 ,  3K058CB14 ,  3K058CB22 ,  3K058CD01 ,  3K058CE21 ,  5F046AA22 ,  5F046DA26 ,  5F046DB02 ,  5F046DB14 ,  5F046DC14 ,  5H323AA05 ,  5H323BB01 ,  5H323CA10 ,  5H323CB02 ,  5H323CB25 ,  5H323CB42 ,  5H323DA01 ,  5H323DB01 ,  5H323EE02 ,  5H323FF04 ,  5H323GG01 ,  5H323HH02 ,  5H323KK05 ,  5H323LL01 ,  5H323LL02 ,  5H323MM08 ,  5H323NN02 ,  5H323QQ05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 温度調節装置および非干渉化温調制御装置並びにこれらの装置を備えた露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-307730   出願人：キヤノン株式会社