温度調節装置および非干渉化温調制御装置並びにこれらの装置を備えた露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-307730
公開番号（公開出願番号）：特開2003-115440
出願日： 2001年10月03日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：

【要約】【課題】温調空間そのものの温度制御の高精度化を図る温度調節装置、および該温度調節装置を備えた露光装置を提供する。【解決手段】温度調節対象に媒体を送り込む吹き出し口と、吹き出し口の温度を計測する第1の温度計測手段4aと、第1の温度計測手段4aの出力を受けて補償演算を行う第1の温度調節計9と、吹き出し口から下流にある温調空間の温度を計測する第2の温度計測手段4bと、第2の温度計測手段4bの出力を受けて補償演算を行う第2の温度調節計20と、吹き出し口から一定温度に制御された媒体を温調空間に送り込むために第1の温度調節計9の出力に基づいて発熱量を増減する再加熱用ヒータ2とを備え、第2の温度調節計20に温調空間の温度の目標値である温度設定値SVを入力し、第2の温度調節計20の出力を第1の温度調節計9の温度設定値SV’として入力する。

請求項（抜粋）：

温度調節対象に媒体を送り込む吹き出し口と、前記吹き出し口の温度を計測する第1の温度計測手段と、前記第1の温度計測手段の出力を入力して補償演算を行う第1の温度調節計と、前記吹き出し口から下流にある温調空間の温度を計測する第2の温度計測手段と、前記第2の温度計測手段の出力を入力して補償演算を行う第2の温度調節計と、前記吹き出し口から一定温度に制御された媒体を前記温調空間に送り込むために前記第1の温度調節計の出力に基づいて発熱量を加減する温度変換手段とを備え、前記第2の温度調節計に前記温調空間の温度の目標値である所定の温度設定値を入力し、前記第2の温度調節計の出力を前記第1の温度調節計の温度設定値として前記第1の温度調節計に入力することを特徴とする温度調節装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03B 27/52 , G03F 7/20 521 , G05D 23/00

FI (5件)：

G03B 27/52 B , G03F 7/20 521 , G05D 23/00 D , H01L 21/30 502 H , H01L 21/30 502 G

Fターム (24件)：

2H109CA05 , 2H109CA08 , 2H109CA14 , 5F046AA22 , 5F046AA28 , 5F046BA04 , 5F046BA05 , 5F046CC01 , 5F046DA04 , 5F046DA07 , 5F046DA26 , 5F046DB02 , 5F046DB10 , 5F046DC10 , 5F046DC14 , 5F046DD06 , 5H323AA05 , 5H323BB01 , 5H323CA01 , 5H323CB02 , 5H323FF10 , 5H323KK06 , 5H323NN03 , 5H323NN14

引用特許：

審査官引用 (4件)

投影露光装置の環境制御システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-116934 出願人：株式会社ニコン
半導体露光装置及びこれを用いたデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-122793 出願人：キヤノン株式会社
投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-072605 出願人：株式会社ニコン

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