表面欠陥判別方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高矢諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-146787
公開番号（公開出願番号）：特開2003-344300
出願日： 2002年05月21日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】【課題】欠陥種類や欠陥等級の判別ロジックの作成を短期間かつ自動的に行うとともに、欠陥種類や欠陥等級の一致率を向上させる。【解決手段】過去に取得し蓄積した複数の表面欠陥の特徴量を特徴空間上の点で表し、仮想写像関数により、写像先空間で線形分離が完全に行えるような識別面が存在するという制約条件下で、識別面への距離が最も近い点との距離を目的関数とし、それを最大化する2次計画問題を解くことにより求まる識別面を識別関数として予め求めておき、種類が未知の表面欠陥の特徴量を前記識別関数に代入し、その結果により、種類が未知の表面欠陥が前記欠陥種類に該当するか否かを判別する。

請求項（抜粋）：

被検査材の表面状態の情報を取得し、取得した情報に基づいて表面欠陥の特徴量を抽出し、前記特徴量に基づいて、所定の欠陥種類に該当するか否かを判別する表面欠陥判別方法において、過去に取得し蓄積した複数の表面欠陥の特徴量と、これに対応づけされた表面欠陥の種類を学習データとして予め用意し、前記学習データを特徴空間上の点として表し、仮想的に想定する写像関数により、写像先の空間上で線形分離が完全に行えるような識別面が存在するという制約条件のもとで、前記識別面への距離が最も近い点と前記識別面との距離を目的関数とし、前記目的関数を最大化する2次計画問題を解くことにより、最適な識別面を識別関数として予め求めておき、種類が未知の表面欠陥の特徴量を前記識別関数に代入し、その結果により、前記種類が未知の表面欠陥が前記欠陥種類に該当するか否かを判別することを特徴とする表面欠陥判別方法。

IPC (5件)：

G01N 21/892 , G01B 11/30 , G06T 1/00 300 , G06T 7/00 300 , G06T 7/00 350

FI (5件)：

G01N 21/892 A , G01B 11/30 A , G06T 1/00 300 , G06T 7/00 300 F , G06T 7/00 350 A

Fターム (42件)：

2F065AA21 , 2F065AA49 , 2F065AA58 , 2F065BB15 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065GG04 , 2F065HH12 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065QQ03 , 2F065QQ08 , 2F065QQ24 , 2F065QQ29 , 2F065QQ31 , 2F065QQ38 , 2F065UU05 , 2G051AA32 , 2G051AB02 , 2G051AC04 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051DA06 , 2G051EA12 , 2G051EA16 , 2G051EB01 , 2G051EB05 , 2G051EC01 , 2G051EC03 , 2G051ED07 , 2G051ED08 , 2G051ED21 , 5B057AA01 , 5B057DA03 , 5B057DA12 , 5B057DC36 , 5L096BA03 , 5L096JA11 , 5L096JA18 , 5L096JA22 , 5L096JA24

引用特許：

審査官引用 (3件)

欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-103544 出願人：富士写真フイルム株式会社
ソフトマージン分類システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-164394 出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
画像自動分類方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-065151 出願人：株式会社日立製作所

引用文献：

審査官引用 (2件)

Support Vector Network
Support Vector Machineによる分類

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