特許
J-GLOBAL ID:200903047976297239

窒化珪素質複合焼結体およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-348215
公開番号(公開出願番号):特開平10-182237
出願日: 1996年12月26日
公開日(公表日): 1998年07月07日
要約:
【要約】【課題】室温から1500°Cの温度において、優れた耐酸化性を有するとともに、高温強度、耐クリープ性の優れた窒化珪素複合焼結体を提供する。【解決手段】窒化珪素を70〜99モル%と、Luを酸化物換算で0.5〜10モル%と、残部が不純物的酸素からなる窒化珪素成分と、窒化珪素成分100重量部に対して、Ta、Nb、Mo、Wの珪化物及びSiCの中から選ばれる少なくとも1種の硬質粒子成分を0.5〜25重量部の割合で分散含有し、窒化珪素が平均粒径5μm以下、平均アスペクト比が5以上の結晶粒子として、硬質粒子が平均粒径1〜5μmの結晶粒子として存在するとともに、粒界にシリコンオキシナイトライド、モノシリケート及びダイシリケートからなる群より選ばれた少なくとも1種以上の結晶相を析出させる。
請求項(抜粋):
窒化珪素を70〜99モル%と、Luを酸化物換算で0.5〜10モル%と、残部が不純物的酸素からなる窒化珪素成分と、該窒化珪素成分100重量部に対して、Ta、Nb、Mo、Wの珪化物及びSiCの中から選ばれる少なくとも1種の硬質粒子成分を0.5〜25重量部の割合で分散含有してなる複合焼結体であって、前記窒化珪素が平均粒径5μm以下、平均アスペクト比が5以上の結晶粒子として、前記硬質粒子が平均粒径1〜5μmの結晶粒子として存在するとともに、前記不純物的酸素及びLuを含む周期律表第3a族元素が窒化珪素結晶粒子及び硬質粒子の粒界に主として存在し、該粒界にシリコンオキシナイトライド、モノシリケート及びダイシリケートからなる群より選ばれた少なくとも1種以上の結晶相が析出してなることを特徴とする窒化珪素質複合焼結体。
FI (2件):
C04B 35/58 102 K ,  C04B 35/58 102 T
引用特許:
審査官引用 (1件)

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