特許

J-GLOBAL ID：200903047977205273

帯電防止ウエハキャリア

発明者： 金崎 和春 ,  吉村 正司 ,  高橋 敏明 ,  大地 広泰
出願人/特許権者： 三井東圧化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-184564
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036216
出願日： 1995年07月21日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【解決手段】 ポリエーテルエーテルケトン樹脂70〜97重量%、及び導電性カーボンブラック3〜30重量%からなる樹脂組成物で、テーバー式磨耗質量が3〜50mgと耐磨耗性に優れたことを特徴とする樹脂組成物を成形することにより得られる帯電防止ウエハキャリアを提供する。【効果】 導電性を付与したウエハキャリアは静電気よるゴミ、ホコリ等の付着がなく、耐磨耗性に優れ低発塵性で、耐熱性、機械特性に優れ、寸法精度が良く軽量であり、高温においても高剛性が維持され、ウエハの熱処理工程、搬送、貯蔵に使用される。

請求項（抜粋）：

ポリエーテルエーテルケトン樹脂70〜97重量%、及び導電性カーボンブラック3〜30重量%からなる樹脂組成物で、テーバー式磨耗試験の磨耗質量が3〜50mgと耐磨耗性に優れたことを特徴とする樹脂組成物を成形することにより得られる帯電防止ウエハキャリア。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86 ,  C08K 3/04 ,  C08L 71/10 LQJ ,  H01B 1/24

FI (5件)：

H01L 21/68 T ,  C08K 3/04 ,  C08L 71/10 LQJ ,  H01B 1/24 Z ,  B65D 85/38 S

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板用カセツト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-339898   出願人：淀川化成株式会社
• 特開平4-370145