特許

J-GLOBAL ID：200903048020819101

消耗品の寿命を判断する方法及び装置

発明者： ストラング、エリク・ジェイ.
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (11件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-565048
公開番号（公開出願番号）：特表2006-511959
出願日： 2003年12月19日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：

【課題】消耗品の寿命を判断する方法及び装置【解決手段】ガス注入システムを備えるプラズマ処理装置であって、前記ガス注入システムは、ガス注入アセンブリボディと、前記ガス注入アセンブリボディに結合された消耗できるガス注入プレートと、前記ガス注入システムボディと前記消耗できるガス注入プレートにとよって形成されたガス注入プレナムに結合された圧力センサとを備える。前記ガス注入システムは、少なくとも1つのマスフローコントローラからプロセスガスを受取り、前記プロセスガスを、前記プラズマ処理装置内の処理領域に供給するように構成されており、前記圧力センサは、前記ガス注入プレナム内のガス注入圧力を測定するように構成されている。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つのマスフローコントローラからプロセスガスを受取るように構成されたガス注入アセンブリボディと、 前記ガス注入アセンブリボディに結合され、前記プロセスガスをプラズマ処理装置に分配する少なくとも1つのオリフィスを備える消耗できるガス注入プレートと、 前記ガス注入アセンブリボディに結合され、かつ前記ガス注入アセンブリボディと前記消耗できるガス注入プレートとによって形成されたガス注入プレナム内のガス注入圧力を測定するように構成された圧力センサと、 前記圧力センサに接続され、かつ前記ガス注入圧力の変化から前記消耗できるガス注入プレートの状態を判断するように構成されたコントローラとを具備する、プラズマ処理装置のガス注入システム。

IPC (2件)：

H01L 21/306 ,  C23C 16/44

FI (2件)：

H01L21/302 103 ,  C23C16/44 B

Fターム (14件)：

4K030EA04 ,  4K030EA05 ,  4K030FA01 ,  4K030KA17 ,  4K030KA45 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  5F004BA04 ,  5F004BC03 ,  5F004BD04 ,  5F004CA02 ,  5F004CA09 ,  5F004CB16 ,  5F004CB20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• プラズマエッチング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-225686   出願人：宮崎沖電気株式会社, 沖電気工業株式会社

審査官引用 (1件)

• プラズマエッチング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-225686   出願人：宮崎沖電気株式会社, 沖電気工業株式会社