液濃度検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉橋暎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-157771
公開番号（公開出願番号）：特開平11-037936
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】半導体工場などにて使用される液(特にエッチング液又は洗浄液)の濃度をリアルタイムにて且つ高精度にて検出することができ、しかも構成が簡単で、低価格の液濃度検出装置を提供する。【解決手段】液濃度検出装置1は、液が供給されるセル2を備え、セルの軸線に直交する方向に対向して投光部4と受光部5とを配置し、この投光部4から前記セル2中の液を透過して前記受光部5へと所定波長の光を投光し、受光部で受光された光量を検出することによって液の濃度を検出する。前記セル2は、細長孔9が形成された板状のスぺーサ6を内部に備え、且つ、少なくとも前記投光部4及び受光部5が対向配置された検出部3領域においては、前記スぺーサ6の両面に実質的に密着するように構成され、それによって、前記セル2に供給された液は、検出部3においては、前記スぺーサ6に形成された細長孔9内を流動する。

請求項（抜粋）：

液が供給されるセルを備え、セルの軸線に直交する方向に対向して投光部と受光部とを配置し、この投光部から前記セル中の液を透過して前記受光部へと波長域が1.3〜1.9μmの光を投光し、受光部で受光された光量を検出することによって液の濃度を検出することを特徴とする液濃度検出装置。

IPC (2件)：

G01N 21/35 , G01N 21/05

FI (2件)：

G01N 21/35 A , G01N 21/05

引用特許：

審査官引用 (9件)

無機薬品含有水溶液の濃度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-280047 出願人：株式会社ジャパンエナジー
含水洗浄液の水分濃度管理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-320915 出願人：東燃株式会社
特開平4-184151

全件表示

前のページに戻る