特許

J-GLOBAL ID：200903048061001342

液浸型露光装置、及び、液浸型露光装置における保持台の洗浄方法

発明者： 清水 秀夫 ,  籠谷 浩司
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 山本 孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-320428
公開番号（公開出願番号）：特開2006-134999
出願日： 2004年11月04日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：

【課題】保持台に設けられた溝に異物が付着、堆積等することを抑制し得る液浸型露光装置を提供する。【解決手段】液浸型露光装置は、(A)露光対象物に対向するレンズ、(B)給液ライン12と排液ライン13とが設けられた、レンズと露光対象物との間を液体で満たすためのシャワーヘッド10、(C)露光対象物を保持するための保持台21、(D)露光対象物の周縁部に対応するように保持台に設けられた溝26、及び、(E)溝26に設けられた液体排出口27を有し、更に、(F)溝26に洗浄液を供給する洗浄液供給手段28を有し、供給された洗浄液を液体排出口27から排出する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

(A)露光対象物に対向するレンズ、 (B)給液ラインと排液ラインとが設けられた、レンズと露光対象物との間を液体で満たすためのシャワーヘッド、 (C)露光対象物を保持するための保持台、 (D)露光対象物の周縁部に対応するように保持台に設けられた溝、及び、 (E)溝に設けられた液体排出口、 を有する液浸型露光装置であって、 (F)溝に洗浄液を供給する洗浄液供給手段を有し、 供給された洗浄液を液体排出口から排出することを特徴とする液浸型露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B08B 3/04 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

H01L21/30 515D ,  B08B3/04 Z ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/304 643Z

Fターム (10件)：

2H097EA01 ,  2H097LA10 ,  3B201AA47 ,  3B201AB51 ,  3B201BB03 ,  3B201BB92 ,  5F046CB01 ,  5F046CC08 ,  5F046DA11 ,  5F046DA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 液浸型露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-121757   出願人：株式会社ニコン