特許
J-GLOBAL ID：200903048112625621
フォトマスク保護用粘着テープ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-003546
公開番号（公開出願番号）：特開2003-206454
出願日： 2002年01月10日
公開日（公表日）： 2003年07月22日
要約：
【要約】【課題】 フォトマスクの表面を汚染から保護し、紫外線の透過及び平行光透過に優れることにより、確実に紫外線をフォトレジストに照射して硬化させることができ、複雑で、線が細く、線の間隔も狭い回路を有するプリント配線板を作製することができるフォトマスク保護用粘着テープを提供する。【解決手段】 透明な基材の片面に粘着剤層が設けられたフォトマスク保護用粘着テープであって、波長350nmにおけるヘーズ値が3%以下であるフォトマスク保護用粘着テープ。
請求項（抜粋）：
透明な基材の片面に粘着剤層が設けられたフォトマスク保護用粘着テープであって、波長350nmにおけるヘーズ値が3%以下であることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープ。
Fターム (4件)：
4J004AB01
, 4J004CC03
, 4J004CE01
, 4J004DB04
