特許

J-GLOBAL ID：200903048124614684

固体画像センサ用の部分的ピン止めフォトダイオード

発明者： テー-スアン リー ,  ロバート マイケル ガイダッシュ ,  ポール プー-カム リー
出願人/特許権者： イーストマン コダック カンパニー
代理人 (1件)： 伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-007072
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209422
出願日： 1998年01月16日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】 光検出器のフィルファクタを拡大するために有用な部分的なピン止めフォトダイオードからなる画素を有する画像センサを提供する。【解決手段】 センサ内の第一の導電性型を有し、センサの表面上に形成された半導体と;半導体内の表面付近に形成され、第一の導電性型と反対の第二の導電性型で形成された少なくとも一つのフォトダイオードと;ピン止めフォトダイオード領域を形成するフォトダイオードの少なくとの一部分にわたり表面上に形成され、第一の導電性型で形成されたピン止め層と;ピン止め層を形成するために用いられた部分の外側の領域の表面付近のフォトダイオード内に形成されたピン止めされない領域とから形成され、ピン止めされない領域はコンデンサとして用いられる浮遊領域として形成される。

請求項（抜粋）：

センサ内で第一の導電性型を有し、センサの表面上に形成された半導体と;半導体内の表面付近に形成され、第一の導電性型と反対の第二の導電性型で形成された少なくとも一つのフォトダイオードと;ピン止めフォトダイオード領域を形成するフォトダイオードの少なくとも一部分にわたり表面上に形成され、第一の導電性型で形成されたピン止め層と;ピン止め層を形成するために用いられた部分の外側の領域の表面付近のフォトダイオード内に形成されたピン止めされない領域と;フォトダイオードと外部回路との境界をなすピン止めされない領域に結合された検知ノードとからなる少なくとも一つの画素を有する画像センサ。

IPC (2件)：

H01L 27/146 ,  H01L 31/10

FI (2件)：

H01L 27/14 A ,  H01L 31/10 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-131681
  
• 特開平2-250474
  
• 特開昭63-038258
  
• 固体撮像装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-101179   出願人：浜松ホトニクス株式会社