特許

J-GLOBAL ID：200903048131505262

窒化珪素質構造部品およびその製造方法

発明者： 佐藤 政宏 ,  坂上 勝伺 ,  福留 武郎 ,  脇田 純弘
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-078666
公開番号（公開出願番号）：特開平10-279360
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：

【要約】【課題】焼き放し面での強度を向上し、未研磨での使用を可能とし、加工コストの大幅な削減を達成した窒化珪素質構造部品を提供する。【解決手段】窒化珪素を主成分とし、希土類元素の群から選ばれる少なくとも1種を酸化物換算で3〜8モル%、アルミニウムを酸化物換算で1〜5モル%、不純物的酸素をSiO2 換算で3〜8モル%の割合で含む成形体を、SiOガスを含む常圧窒素雰囲気中で1600〜1800°Cで焼成してなり、表面粗さRmaxが10μm以下、抗折強度が750MPa以上、酸素量の内部における酸素量に対する重量比が0.8〜2、窒化珪素結晶粒子の短軸径が2μm以下、平均長軸径が20μm以下の焼き放し面を有する、安価で高信頼性の窒化珪素質構造部品を得る。

請求項（抜粋）：

窒化珪素を主成分とし、希土類元素の群から選ばれる少なくとも1種を酸化物換算で3〜8モル%、アルミニウムを酸化物換算で1〜5モル%、不純物的酸素をSiO2 換算で3〜8モル%の割合で含む焼結体からなり、且つ少なくとも一部に焼き放し面を有する窒化珪素質構造部品であって、前記焼き放し面の表面粗さRmaxが10μm以下であり、且つ前記焼き放し面における抗折強度が750MPa以上であることを特徴とする窒化珪素質構造部品。

IPC (3件)：

C04B 35/584 ,  C04B 35/64 ,  F16J 1/16

FI (4件)：

C04B 35/58 102 D ,  F16J 1/16 ,  C04B 35/58 102 T ,  C04B 35/64 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 窒化珪素質切削工具およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-133549   出願人：京セラ株式会社
• 窒化珪素質焼結体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-329254   出願人：京セラ株式会社
• 特開昭63-156070