特許
J-GLOBAL ID：200903048140420539

Cr含有窒化チタン膜

発明者：
長坂 浩志

長坂 浩志 について

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角谷 桃子

角谷 桃子 について

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宮坂 松甫

宮坂 松甫 について

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片岡 匡史

片岡 匡史 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-157507
公開番号（公開出願番号）：特開2002-047557
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、窒化チタン薄膜本来の高摺動特性(耐摩耗性、低摩擦係数)を損なわずに、その耐高温腐食性を向上させた、蒸気タービン、ガスタービン等の高温で運転される回転機械に用いられる軸受又はシールなどの摺動部材に好適な硬質膜を提供することを目的とする。【解決手段】 かかる目的を達成するために、本発明は、Ti及びCrを主成分とする窒化物であって、その結晶粒子が面心立方晶構造で、その結晶方位が(200)面に高配向していることを特徴とするCr含有窒化チタン膜を提供する。
請求項（抜粋）：
Ti及びCrを主成分とする窒化物であって、その結晶粒子が面心立方晶構造で、その結晶方位が(200)面に高配向していることを特徴とするCr含有窒化チタン膜。
IPC (6件)：
C23C 14/06 ,  C23C 14/48 ,  F01D 25/00 ,  F01D 25/16 ,  F02C 7/00 ,  F02C 7/28
FI (6件)：
C23C 14/06 L ,  C23C 14/48 D ,  F01D 25/00 L ,  F01D 25/16 Z ,  F02C 7/00 C ,  F02C 7/28 E
Fターム (7件)：
4K029AA01 ,  4K029AA02 ,  4K029BA58 ,  4K029BB07 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029CA09
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 被覆硬質部材
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-034612   出願人：日立ツール株式会社
  • 高温摺動部材用硬質膜
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-302259   出願人：株式会社荏原製作所
引用文献：
審査官引用 (1件)

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