特許
J-GLOBAL ID：200903048167672050
形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
木下 實三
, 中山 寛二
, 石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-089509
公開番号（公開出願番号）：特開2005-274429
出願日： 2004年03月25日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】簡便な構成で検出感度が向上する形状測定装置を提供する。【解決手段】 被測定面Sに対して相対的に略平行移動する測定ヘッド部200と、測定ヘッド部200の対向位置における被測定面Sの形状が測定ヘッド部200と被測定面Sとの平行移動に伴なって変化する量を測定する信号処理部410と、を備え、測定ヘッド部200は、同位相の多光束からなる光L1を被測定面Sに向けて照射させる照射光形成手段(210、230)と、被測定面Sからの反射光L2を回折させて干渉縞を形成させる干渉縞形成手段(240)と、干渉縞の光を受光して受光信号を出力する受光素子アレイ310と、を備え、信号処理部410は、受光素子アレイ310からの受光信号に基づく干渉縞の変位から被測定面Sの形状変化を検出する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
被測定面に対して相対的に略平行移動する測定ヘッド部と、
前記測定ヘッド部の対向位置における前記被測定面の形状が前記測定ヘッド部と前記被測定面との平行移動に伴なって変化する量を検出する形状変化検出部と、を備え、
前記測定ヘッド部は、
同位相の多光束からなる光を前記被測定面に向けて照射させる照射光形成手段と、
前記被測定面からの反射光を回折させて干渉縞を形成させる干渉縞形成手段と、
前記干渉縞の光を受光して受光信号を出力する受光手段と、を備え、
前記形状変化検出部は、前記受光手段からの前記受光信号に基づいて検知される前記干渉縞の変位から前記被測定面の形状変化を検出する
ことを特徴とする形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
2F065AA53
, 2F065BB02
, 2F065CC21
, 2F065DD06
, 2F065FF52
, 2F065GG07
, 2F065HH03
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065LL42
, 2F065LL46
, 2F065MM07
, 2F065UU03
, 2F065UU04
