特許

J-GLOBAL ID：200903048212750903

有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法及び製造装置

発明者： 内田 昌宏
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-024166
公開番号（公開出願番号）：特開2007-207544
出願日： 2006年02月01日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：

【課題】長寿命化を実現することができる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法を提供する。【解決手段】基板上に有機層を成膜する第1工程と、基板上に成膜された有機層を不活性ガス雰囲気中で加熱する第2工程と、基板1上に成膜された有機層に所定ガス雰囲気中で所定の光を照射する第3工程とを有し、第3工程を、第2工程の前及び後の少なくとも一方で行う。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

発光可能な有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、 基板上に前記有機層を成膜する第1工程と、 前記基板上に成膜された前記有機層を不活性ガス雰囲気中で加熱する第2工程と、 前記基板上に成膜された前記有機層に所定ガス雰囲気中で所定の光を照射する第3工程 とを有し、 前記第3工程を、前記第2工程の前及び後の少なくとも一方で行うことを特徴とする有 機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。

IPC (2件)：

H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (2件)：

H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (5件)：

3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 有機電界発光素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-119832   出願人：ソニー株式会社
• 有機EL装置とその製造方法、並びに電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-168081   出願人：セイコーエプソン株式会社

審査官引用 (1件)

• 有機電界発光素子及びその製造方法、並びに有機電界発光ディスプレイ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-367445   出願人：シャープ株式会社