特許

J-GLOBAL ID：200903048219521764

マイクロデバイスの製造方法、マイクロデバイスおよびこれを用いた培養観察装置

発明者： 中村 康敬 ,  櫻内 一志
出願人/特許権者： ヤマハ株式会社
代理人 (2件)： 服部 雅紀 ,  吉田 大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-096043
公開番号（公開出願番号）：特開2005-278470
出願日： 2004年03月29日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

【課題】 硬化性樹脂により透明基板と板部材とを接着し、隣接する空間部への光の入射を防止するマイクロデバイスおよびこれを用いた培養観察装置を提供する。【解決手段】 マイクロデバイス20の板部材22は金属製である。そのため、板部材22は不透明であり、貯液部26には隣接する貯液部26から光が入射することはない。これにより、例えば観察対象を発光性の試薬を用いて観察する場合、隣接する貯液部26における発光の影響を受けることはない。また、接着層23は、貯液部26の内側にはみ出していない。そのため、透明基板21を経由して下方から貯液部26を観察する場合、貯液部26にはみ出した接着層23により観察が妨げられることはない。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ガラス製の透明基板の一方の面である搭載面に、ネガタイプの感光性樹脂を塗布する段階と、 前記感光性樹脂が塗布された前記搭載面に、板厚方向に貫く開口部を有し前記透明基板とともに空間部を形成する金属製の板部材を貼り付ける段階と、 前記透明基板の他方の面である照射面に、前記透明基板側から前記開口部を覆うマスクを設置する段階と、 前記マスクが設置された前記照射面側から前記透明基板を通して前記感光性樹脂に所定の波長の光を照射する段階と、 前記感光性樹脂を、光が照射された部分を除いて除去する段階と、 を含むことを特徴とするマイクロデバイスの製造方法。

IPC (2件)：

C12M1/34 ,  C12M3/00

FI (2件)：

C12M1/34 A ,  C12M3/00 A

Fターム (9件)：

4B029AA08 ,  4B029BB11 ,  4B029CC02 ,  4B029CC08 ,  4B029GA03 ,  4B029GA08 ,  4B029GB06 ,  4B029GB09 ,  4B029GB10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 微細路の成形方法及び微細路成形材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-291043   出願人：株式会社トキメック