特許

J-GLOBAL ID：200903048234996612

可動体変位検出装置

発明者： 上野山 博文 ,  青 建一 ,  鈴木 康利 ,  吉野 好 ,  鈴木 基史
出願人/特許権者： 日本電装株式会社 ,  株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-210634
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063505
出願日： 1993年08月25日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】 磁気抵抗素子の磁気抵抗変化率が大きいとともに着磁面に対する磁気抵抗素子の位置合わせが容易な可動体変位検出装置を提供することにある。【構成】 ドライブギヤの回転に伴って回転する磁石には、その上面にN極,S極が中心から等角度で交互に着磁されている。磁石の着磁面に対し離間してICチップが対向して配置されている。ICチップには磁気抵抗素子が配置されている。この磁気抵抗素子は、単結晶シリコン基板6の上面に数Å〜数10Åの磁性層のCo膜11と数Å〜数10Åの非磁性層のCu膜10とを交互に繰り返し積層することにより形成されている。

請求項（抜粋）：

異なる磁極を交互に着磁した着磁面を有する可動体と、前記可動体の着磁面と離間状態で対向配置され、磁性の薄層と非磁性の薄層とを交互に繰り返し積層することにより形成された磁気抵抗素子と、を備えたことを特徴とする可動体変位検出装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-121721
  
• 磁気抵抗素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-104785   出願人：株式会社豊田中央研究所
• 特開平1-121721