混合固体を原料とする薄膜・粉末の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：塩出真一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-131205
公開番号（公開出願番号）：特開平9-291357
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】固体有機物にレーザーを照射して薄膜・粉末を製造する方法において、成膜速度又は粉末製造速度を大きくし、かつ、膜質又は粉末質の向上を図る。【解決手段】第1成分である有機化合物に第2成分である金属、金属化合物及び無機化合物の少なくともいずれかを添加・混合した混合固体16を反応チャンバー14内に配置し、この反応チャンバー14内を排気して10-1〜10-6Paの減圧状態にした後、この混合固体16へ赤外光レーザー又は/及び紫外光レーザーを照射して加熱・励起することにより、分子を飛び出させ、捕捉体20上に分子を析出させる。第2成分である金属としては、Co、Fe、Ni及びCuの少なくともいずれかを用い、金属化合物としては、Co化合物、Fe化合物、Ni化合物及びCu化合物の少なくともいずれかを用い、無機化合物として、セラミックスを用いる。

請求項（抜粋）：

第1成分である有機化合物に第2成分である金属、金属化合物及び無機化合物の少なくともいずれかを添加・混合した混合固体を反応チャンバー内に配置し、この反応チャンバー内を排気して10-1〜10-6Paの減圧状態にした後、この混合固体へレーザーを照射して加熱・励起することにより、分子を飛び出させ、捕捉体上に分子を析出させることを特徴とする混合固体を原料とする薄膜・粉末の製造方法。

IPC (4件)：

C23C 14/28 , B22F 9/04 , C23C 14/12 , H01S 3/00

FI (4件)：

C23C 14/28 , B22F 9/04 Z , C23C 14/12 , H01S 3/00 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-259162
特開昭63-235466
特開平1-225769

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