特許
J-GLOBAL ID:200903048245954091
表面プラズモンセンサー
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-233867
公開番号(公開出願番号):特開平10-078391
出願日: 1996年09月04日
公開日(公表日): 1998年03月24日
要約:
【要約】【課題】 試料中の物質に関する2次元の物性情報を測定することができる表面プラズモンセンサーを得る。【解決手段】 均一な厚さの透明基板10の一表面に金属膜12を形成する一方、この一表面と対面する他表面上に、それぞれ2次元的に広がるグレーティング等の光入力手段15および光出力手段16を形成し、この光入力手段15に入射する光ビーム13を光走査手段17により、該光入力手段15の広がり方向に2次元的に走査させる。そして透明基板10と金属膜12との界面10aで全反射して光出力手段16から透明基板10外に出射した光ビーム13を、光検出手段18によって検出する。
請求項(抜粋):
均一な厚さの透明基板と、この透明基板の一表面に形成されて試料に接触させられる金属膜と、光ビームを発生させる光源と、前記一表面と対面する透明基板の他表面上において2次元的に広がり、照射された前記光ビームを該透明基板と前記金属膜との界面に導く光入力手段と、前記他表面上において2次元的に広がり、前記界面で全反射した光ビームを前記透明基板外に出射させる光出力手段と、前記透明基板外に出射した光ビームの強度を検出する光検出手段と、前記光入力手段に入射する光ビームを、該光入力手段の広がり方向に2次元的に走査させる光走査手段とを備えてなる表面プラズモンセンサー。
引用特許: