特許
J-GLOBAL ID：200903048266266233
処理液供給装置用脱気装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-338234
公開番号（公開出願番号）：特開平9-150007
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：
【要約】【課題】 処理液供給用配管と真空チャンバとの接続個所からパーティクルが発生したり金属イオンが処理液中へ析出したりすることがなく、接続個所での真空チャンバ内部のリークの心配も少ない脱気装置を提供する。【解決手段】 継手14を樹脂材によって形成し、継手を真空チャンバ12に溶接又は接着により固着した。
請求項（抜粋）：
気体透過膜材によって形成された処理液流路を有し、その処理液流路の周囲を真空チャンバで気密に密閉し、前記処理液流路の入口側及び出口側がそれぞれ、前記真空チャンバに固着された継手を介して処理液供給用配管に流路接続され、前記真空チャンバに、真空吸引源に接続された脱気用配管が連通接続された処理液供給装置用脱気装置において、前記各継手をそれぞれ樹脂材によって形成し、かつ、各継手を前記真空チャンバにそれぞれ溶接又は接着により固着したことを特徴とする処理液供給装置用脱気装置。
引用特許：
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