特許
J-GLOBAL ID:200903048279554904

自動昇降バフホルダー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 弁護士法人 衞藤法律特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-307488
公開番号(公開出願番号):特開2005-074555
出願日: 2003年08月29日
公開日(公表日): 2005年03月24日
要約:
【課題】 研磨装置におけるバフと被研磨面との接離及び押圧力の調整をバフ回転用の駆動力以外の動力を要することなく自動化することができ、押圧力の微調整等の操作性に優れコンパクトで経済的に製造できる自動昇降バフホルダーを提供する。【解決手段】 駆動モーターMの回動軸1と、この回動軸1に上下動可能に取り付けられ、バフ10を保持するホルダー部(ハウジング)2とから構成する。ホルダー部2は、回動軸1が貫装される円筒部2aと、内部に一対のウエイト6等が収容されると共に、バフ10とほぼ同径で内部が中空にされた円形の皿部2bとからなり、回動軸1の回転により発生する遠心力をホルダー部2の昇降モーメントに変換する慣性力変換機構Uを設ける。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
回動軸と、該回動軸に上下動可能に取り付けられ、バフを保持するホルダー部とからなるバフホルダーあって、前記回動軸の回転により発生する遠心力を前記ホルダー部の昇降モーメントに変換する慣性力変換機構を設けたことを特徴とする自動昇降バフホルダー。
IPC (2件):
B24B41/047 ,  B24B29/00
FI (2件):
B24B41/047 ,  B24B29/00 J
Fターム (10件):
3C034AA08 ,  3C034BB01 ,  3C034CB01 ,  3C034DD08 ,  3C058AA06 ,  3C058AA12 ,  3C058AA16 ,  3C058CB03 ,  3C058CB04 ,  3C058DA17
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)
  • 回転加工装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2001-088375   出願人:豊田合成株式会社
  • 特開平4-069128

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