分光反射光量測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-210347
公開番号（公開出願番号）：特開平10-054793
出願日： 1996年08月09日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】分光反射光量に対する測定性能を変えること無く、被測定物の性状のいかんにかかわらず、分光反射光量を精度良く測定する。【解決手段】第1のランプ13からの計測光をピンホール20aを通し、光学系6を介して基板12の外面Fに計測光の照射範囲を制限する状態で照射する。基板12の外面Fからの反射光を光学系6を介して分光ユニット9に取り込み、反射光の光量を測定する。光学系6と、その下方の基板12の外面Fとの間に保護ガラス25を設け、基板12の外面Fに塵埃が落下することを防止するとともに、基板12側からの熱、ガスや蒸気が光学系に影響を与えることを防止する。

請求項（抜粋）：

計測光を発する光源と、前記光源からの計測光を測定試料面に到達させるとともに前記測定試料面からの反射光を取り込む光学系と、前記光学系に取り込まれる前記測定試料面からの特定波長ごとの反射光の光量を測定する分光反射光量測定手段と、を備えた分光反射光量測定装置において、前記測定試料面に対して前記光学系側を仕切る保護透明体と、前記測定試料面における前記光源からの計測光の照射範囲を制限する照射範囲制限手段と、を備えたことを特徴とする分光反射光量測定装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公昭55-019366
特開平3-009247
特開昭62-073716

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