特許

J-GLOBAL ID：200903048325737148

板状物乾燥装置

発明者： 高田 穣一
出願人/特許権者： 高田 穣一
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-318676
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159360
出願日： 1995年12月07日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 ノズル口が直角状とした構成では、板端面に小さな水滴が残る。ノズル口の長さ方向が一定方向に傾斜した構成では、板状物の長さに対して幅の比率が大きいとき、エヤーノズル装置の前後長さが短くなり、ノズル口の傾斜角度が小さくなって、板端面の水滴の切れが悪くなり、板状物の送り速度を遅くしなければならず、能率が低下する。【解決手段】 ノズル口12を山形状に形成して、板端面1bにおいて、頂部12aが対応する中央部から両外側へのエヤー流れを生じ、板端面1bに残ろうとする水滴Sを板状物1の角部1A側に移動させ、角部1Aで水滴Sを集合させたのち外方へ飛ばす。エヤーノズル装置10の前後長さが短くても、ノズル口12の傾斜角度Θを充分に大きくし得る。

請求項（抜粋）：

ローラコンベヤ装置により板状物を搬送しながら、エヤーノズル装置により板状物の上下の表面を乾燥させる板状物乾燥装置であって、前記エヤーノズル装置のノズル口を、頂部を左右方向の中央部でかつ乾燥作用開始側として山形状に形成したことを特徴とする板状物乾燥装置。

IPC (2件)：

F26B 13/20 ,  H01L 21/304 361

FI (2件)：

F26B 13/20 ,  H01L 21/304 361 H

引用特許：

審査官引用 (2件)

• エアーナイフ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-199910   出願人：島田理化工業株式会社
• 基板の液切り乾燥装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-117620   出願人：大日本スクリーン製造株式会社