針形状物の作製方法および作製された針

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八田幹雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-272924
公開番号（公開出願番号）：特開2002-079499
出願日： 2000年09月08日
公開日（公表日）： 2002年03月19日
要約：

【要約】【課題】少ない工程数で薬液を供給するための貫通孔を有する針形状物の作製方法および作製された針を提供する。【解決手段】ウェットエッチングに対する保護膜を両面に施した金属もしくは金属化合物または半導体の単結晶基板の片面に複数本の溝を形成することにより該基板の片面に多角柱を形成し、該単結晶基板をエッチング剤液中に浸漬して不要な部分の単結晶材料をエッチングすることにより、針形状物を形成させることを特徴する針形状物の製造方法および該方法で作製された針。

請求項（抜粋）：

ウェットエッチングに対する保護膜を両面に施した金属もしくは金属化合物または半導体の単結晶基板の片面に複数本の溝を形成することにより多角柱を形成し、該単結晶基板をエッチング剤液中に浸漬して不要な部分の単結晶材料をエッチングすることにより、針形状物を形成させることを特徴とする針形状物の製造方法。

IPC (6件)：

B81C 1/00 , A61B 17/20 , A61M 37/00 , B81B 1/00 , C23F 1/02 , H01L 21/306

FI (6件)：

B81C 1/00 , A61B 17/20 , A61M 37/00 , B81B 1/00 , C23F 1/02 , H01L 21/306 B

Fターム (17件)：

4C060MM01 , 4C060MM22 , 4K057WA19 , 4K057WB06 , 4K057WC06 , 4K057WE07 , 4K057WG01 , 4K057WG02 , 4K057WM03 , 4K057WN10 , 5F043AA02 , 5F043AA31 , 5F043BB02 , 5F043BB22 , 5F043DD02 , 5F043FF01 , 5F043GG10

引用特許：

審査官引用 (6件)

特表平6-508435
特公平7-062258
走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーチップ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-219969 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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