走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーチップ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-219969
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256643
出願日： 1992年08月19日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】カンチレバーを試料に対して傾けて取り付けた場合にあっても、カンチレバーを傾けないで取り付けた場合と同じ様に試料の表面形状を測定することを可能にする走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーチップを提供する。【構成】カンチレバーチップ10は保持基板12を有し、そこから中抜きの三角形状のカンチレバー14が延出している。カンチレバー14の先端部には探針16が設けられている。この探針16の軸18はカンチレバー14の面に立てた法線20に対して所定の角度を有している。この角度は、カンチレバーチップ10を例えばAFM装置に取り付けたときに、探針16の軸18が試料面に垂直になるように設定してある。

請求項（抜粋）：

弾性変形するカンチレバーと、カンチレバーの面に立てた法線に対して所定の角度で傾いている傾斜軸と、カンチレバーの先端部に設けられた、傾斜軸に対して軸対称な探針とを備えている走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーチップ。

IPC (3件)：

G01B 21/30 , G01B 7/34 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-218998
特開平1-262403
表面観察装置用プローブおよびその製造方法ならびに表面観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-170012 出願人：株式会社日立製作所

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