特許
J-GLOBAL ID：200903048347529484
変位傾斜測定方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-128879
公開番号（公開出願番号）：特開平7-332954
出願日： 1994年06月10日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 複雑な構成を必要とすることなく、迅速に測定対象面の変位と傾斜とを同時に測定できるようにすることを目的とする。【構成】 微動ステージ1上の測定点では、光源2a,2bの異なる方向からの2つの光が照射される。そして、このことによる微動ステージ1から反射する光のそれぞれを2つの2次元光センサ3a,3bで検出し、演算処理部4により微動ステージ1の変位量と傾斜量が同時測定可能となる。
請求項（抜粋）：
平坦な測定面の法線方向の変位量と前記測定面の傾き量とを測定する変位傾斜測定方法であって、前記測定面の所定の位置に前記測定面に対して所定の角度から第1の光を照射することで得られる前記測定面で反射した第1の反射光を、前記所定の位置より第1の距離に配置した第1の受光面で受光し、前記所定の位置に前記測定面に対して所定の角度から第2の光を照射することで得られる前記測定面で反射した第2の反射光を、前記所定の位置より第2の距離に配置した第2の受光面で受光し、前記第1,第2の距離、前記第1の光の前記所定の位置までの光路を前記測定面に投影した軌跡と,前記第2の光の前記所定の位置までの光路を前記測定面に投影した軌跡とがなす投影角度、前記第1の受光面の前記第1の反射光の受光位置の移動量、前記第2の受光面の前記第2の反射光の受光位置の移動量により、前記測定面の傾き量と法線方向の変位量とを同時に算出することを特徴とする変位傾斜測定方法。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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微小変位、傾き角同時測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-200053
出願人：日立金属株式会社, 矢鍋重夫
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特開昭59-047731
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特開昭59-047731
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