特許

J-GLOBAL ID：200903048408136090

真空用アクチュエータ

発明者： 諏訪 達徳 ,  吉灘 裕
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 浜本 忠 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-232699
公開番号（公開出願番号）：特開2000-069741
出願日： 1998年08月19日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 回転中心方向の大きさを小さくできるようにする。【解決手段】 円筒状に形成されてこれの内側と外側とを気密状に封止する真空封止体22,22a,28a〜28dと、この真空封止体の外側に位置し、かつこの真空封止体に回転自在に支承された出力部材10a〜10dと、真空封止体の内側で、かつ出力部材の内側に対向する位置に設けたダイレクトドライブタイプのモータのステータ25a〜25dと、ステータに真空封止体を隔てて対向すると共に、出力部材の内側に固着されたダイレクトドライブタイプのモータのロータ26a〜26dとからなっている。

請求項（抜粋）：

円筒状に形成されてこれの内側と外側とを気密状に封止する真空封止体と、この真空封止体の外側に位置し、かつこの真空封止体に回転自在に支承された出力部材と、真空封止体の内側で、かつ出力部材の内側に対向する位置に設けたダイレクトドライブタイプのモータのステータと、ステータに真空封止体を隔てて対向すると共に、出力部材の内側に固着されたダイレクトドライブタイプのモータのロータと、からなることを特徴とする真空用アクチュエータ。

IPC (3件)：

H02K 49/10 ,  B25J 19/00 ,  H02K 5/04

FI (3件)：

H02K 49/10 A ,  B25J 19/00 A ,  H02K 5/04

Fターム (28件)：

3F060AA01 ,  3F060AA07 ,  3F060AA08 ,  3F060BA00 ,  3F060DA10 ,  3F060EB12 ,  3F060EC12 ,  3F060GA13 ,  3F060GB12 ,  3F060GB31 ,  3F060HA00 ,  5H605AA00 ,  5H605BB05 ,  5H605BB14 ,  5H605BB17 ,  5H605CC05 ,  5H605DD01 ,  5H605EA19 ,  5H605EB10 ,  5H605EB12 ,  5H649AA00 ,  5H649AA01 ,  5H649BB02 ,  5H649BB07 ,  5H649GG01 ,  5H649HH01 ,  5H649JK02 ,  5H649JK04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 磁気駆動回転導入装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-117456   出願人：株式会社日立製作所
• 高真空用アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-036728   出願人：株式会社日立製作所