特許

J-GLOBAL ID：200903048416147149

磁気力顕微鏡の垂直磁場印加装置

発明者： 石尾 俊二
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-151126
公開番号（公開出願番号）：特開2003-344258
出願日： 2002年05月24日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】【課題】この発明は、高磁場環境を確保したうえで、磁場環境の高精度な設定を実現し得るようにして、観察形態の多様化を図ることにある。【解決手段】コア21に第1及び第2のポールピース22、23を対向して突設し、一方の第1のポールピース23に挿通孔231を設け、この挿通孔231を通して、第1のポールピース22と第2のポールピース23との間に磁性探針部11及びステージ20を非磁性材料製のホルダ部材33を介して配すると共に、該ホルダ部材33で上記磁性探針部11、ステージ20及びアクチュエータ24の作動部241と、コア21とを分離配置し、且つ、磁気回路を構成するコイル27、28を冷却部30、31を介して熱制御するように構成し、所期の目的を達成した。

請求項（抜粋）：

顕微鏡本体に配されるものであって、挿通孔の設けられた第1のポールピースに対して第2のポールピースを所定の間隙を有して対向配置した磁性材料製のコアと、このコアの前記第1及び第2のポールピースの周囲にそれぞれ巻装されるものであって、前記コア、前記第1及び第2のポールピースと協働して磁気回路を構成するコイルと、このコイルを駆動制御して前記第1及び第2のポールピースと協働して垂直磁場を発生させる駆動制御手段と、前記コアの前記第1及び第2のポールピース間に配される試料が搭載されるステージと、前記第1のポールピースの挿通孔を通して前記ステージに連結され、該ステージを移動調整するステージ駆動手段と、磁性探針部を前記ステージに対向して配置するものであって、前記コアと分離配置された非磁性材料製のホルダ部材と、前記コイルを熱制御する冷却手段とを具備することを特徴とする磁気力顕微鏡の垂直磁場印加装置。

IPC (3件)：

G01N 13/22 ,  G01N 27/72 ,  G01R 33/12

FI (3件)：

G01N 13/22 A ,  G01N 27/72 ,  G01R 33/12 Z

Fターム (12件)：

2G017CA01 ,  2G017CA12 ,  2G017CB02 ,  2G017CB10 ,  2G017CC03 ,  2G053AA07 ,  2G053AA30 ,  2G053AB22 ,  2G053BB05 ,  2G053BB11 ,  2G053BC03 ,  2G053BC14

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 極微小磁区観察方法と極微小磁区観察装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-085242   出願人：ソニー株式会社