特許

J-GLOBAL ID：200903048444017625

耐蝕性部材およびウエハ保持装置

発明者： 川辺 保典 ,  口町 和一 ,  井之上 博範 ,  永野 三郎
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-014820
公開番号（公開出願番号）：特開平8-208338
出願日： 1995年01月31日
公開日（公表日）： 1996年08月13日
要約：

【要約】【構成】純度99%以上で、かつSiの含有量が1500ppm以下の窒化アルミニウム質焼結体により耐蝕性部材を形成する。また、上記耐蝕性部材により少なくとも半導体ウエハや液晶用ガラス基板などのウエハを保持する載置面を形成してウエハ保持装置を構成する。【効果】プラズマを発生させたハロゲン系腐蝕性ガス下に曝したとしてもエッチングされ難い。しかも、高純度の窒化アルミニウム質焼結体からなることから不純物により半導体ウエハや液晶用ガラス基板などのウエハを汚染したり、あるいは絶縁破壊などの悪影響を与えることがない。

請求項（抜粋）：

AlN含有量が99%以上で、かつSiの含有量が1500ppm以下の窒化アルミニウム質焼結体からなる耐蝕性部材。

IPC (6件)：

C04B 35/581 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/68 ,  B23Q 3/15

FI (3件)：

C04B 35/58 104 A ,  C04B 35/58 104 Y ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-223070
  
• 特開昭63-085055
  
• 静電チヤツク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-190023   出願人：京セラ株式会社
• 特開平4-298062