特許
J-GLOBAL ID：200903033031009325
静電チヤツク
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-190023
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036819
出願日： 1991年07月30日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【構成】窒化珪素、窒化アルミニウムなどの窒化物を主成分とするセラミック板状体1に内部電極2を備え、該セラミック板状体1の表面に物体を吸着するための吸着面1aを形成して静電チャックを構成した。【効果】漏れ電流が極めて小さく、機械的強度に優れ、還元雰囲気における吸着力が安定しており、シリコンウェハなどの被吸着物6を汚染しにくい。
請求項（抜粋）：
窒化珪素、窒化アルミニウムなどの窒化物を主成分とするセラミック板状体に内部電極を備えるとともに、該セラミック板状体の表面に物体を吸着するための吸着面を形成してなる静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 15/06
, B65H 5/00
