静電チヤツク

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-190023
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036819
出願日： 1991年07月30日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：

【要約】【構成】窒化珪素、窒化アルミニウムなどの窒化物を主成分とするセラミック板状体1に内部電極2を備え、該セラミック板状体1の表面に物体を吸着するための吸着面1aを形成して静電チャックを構成した。【効果】漏れ電流が極めて小さく、機械的強度に優れ、還元雰囲気における吸着力が安定しており、シリコンウェハなどの被吸着物6を汚染しにくい。

請求項（抜粋）：

窒化珪素、窒化アルミニウムなどの窒化物を主成分とするセラミック板状体に内部電極を備えるとともに、該セラミック板状体の表面に物体を吸着するための吸着面を形成してなる静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B25J 15/06 , B65H 5/00

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開昭63-095644
特開昭62-286247
ウエハー加熱装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-303289 出願人：日本碍子株式会社

全件表示

審査官引用 (9件)

ウエハー加熱装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-303289 出願人：日本碍子株式会社
静電チヤツク及び静電チヤツクに対する電圧印加方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-186854 出願人：東陶機器株式会社
特開平4-304941

全件表示

前のページに戻る