特許

J-GLOBAL ID：200903048460564806

ウェハ処理装置

発明者： 真田 覚
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 特許業務法人オカダ・フシミ・ヒラノ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-158326
公開番号（公開出願番号）：特開2007-329233
出願日： 2006年06月07日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：

【課題】ウェハホルダの位置合わせにおけるスループットの低下を防止可能なウェハ処理装置を提供する。【解決手段】ロボットにより、ホルダラック7からウェハホルダ2が取り出されてウェハホルダステージ5に載置されると、マーク検出部4a、4bが基準マーク3a、3bの位置を検出する。そして、この基準マーク3a、3bが基準位置に来るようにウェハホルダステージ5を移動させることにより、ウェハホルダ2の位置合わせが完了する。この実施の形態においては、基準マーク3a、3bが基準位置に来たときのウェハホルダステージ5の位置を不揮発性記憶媒体中に格納する。そして、このウェハホルダを次回に使用するときは、ウェハホルダステージ5の位置を、記憶されていた位置に合わせる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ウェハを保持・吸着するためのウェハホルダであって基準マークが少なくとも一つ以上存在するものを複数保有可能な枚葉式ウェハ処理装置において、前記基準マークを検出するためのマーク検出部と、前記基準マーク検出時に前記マーク検出部に対する前記ウェハホルダの相対的な位置を移動させる位置決め機構部とを具備し、 前記各ウェハホルダ毎に、前記基準マークの検出位置情報を保持しておく基準マーク位置記憶手段を有し、前記ウェハホルダ上の前記基準マーク検出時には、前記基準マーク記憶手段に記憶された、前回の前記基準マーク位置になるように前記位置決め機構を制御して前記基準マーク検出を行うことを特徴とするウェハ処理装置。

IPC (1件)：

H01L 21/68

FI (1件)：

H01L21/68 F

Fターム (17件)：

5F031CA02 ,  5F031DA11 ,  5F031DA17 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031HA53 ,  5F031JA02 ,  5F031JA04 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031PA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ウェハの接合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-113924   出願人：株式会社ニコン