ホットプレートユニット

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-177797
公開番号（公開出願番号）：特開2001-052978
出願日： 1999年08月09日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】ホットプレート全体を短時間で均一に冷却することができるホットプレートユニットを提供すること。【解決手段】このホットプレートユニット1は、有底状をしたケーシング2の開口部4に、抵抗体10を有するホットプレート3を設置してなる。ケーシング2とホットプレート3との間には、略密閉された空間S1が形成されている。ケーシング2の底部2aには、流体供給ポート17及び開口部31がそれぞれ2個ずつ形成されている。

請求項（抜粋）：

有底状をしたケーシングの開口部に、抵抗体を有するホットプレートを設置してなるホットプレートユニットであって、前記ケーシングの底部に開口部が形成されてなることを特徴とするホットプレートユニット。

引用特許：

審査官引用 (2件)

半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-300971 出願人：ソニー株式会社
温度制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-088236 出願人：株式会社小松製作所

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