特許
J-GLOBAL ID:200903048508385380
半導体用樹脂ペーストの製造方法、半導体用樹脂ペースト及び半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-329754
公開番号(公開出願番号):特開2002-134530
出願日: 2000年10月30日
公開日(公表日): 2002年05月10日
要約:
【要約】【課題】 熱時接着強度を低下させず、吸湿処理後の耐半田クラック性試験において半導体用樹脂ペースト層の剥離が起こらない信頼性に優れた半導体用樹脂ペーストとその製造方法を提供する。【解決手段】 熱硬化性樹脂とフィラーからなる半導体用樹脂ペーストの製造方法において、フィラーの一部又は全部を熱硬化性樹脂成分に混合し、この混合物を湿式ビーズミルで処理して製造する半導体用樹脂ペーストの製造方法であり、湿式ビーズミルで処理して製造された半導体用樹脂ペーストである。
請求項(抜粋):
(A)熱硬化性樹脂と(B)フィラーからなる半導体用樹脂ペーストにおいて、(B)フィラーの一部又は全部を該熱硬化性樹脂成分に混合し、この混合物を湿式ビーズミルで処理して製造することを特徴とする半導体用樹脂ペーストの製造方法。
IPC (5件):
H01L 21/52
, C08K 3/00
, C08L101/00
, C09J 9/02
, C09J201/00
FI (5件):
H01L 21/52 E
, C08K 3/00
, C08L101/00
, C09J 9/02
, C09J201/00
Fターム (66件):
4J002AA021
, 4J002BD122
, 4J002BG041
, 4J002BG062
, 4J002CC182
, 4J002CC192
, 4J002CD011
, 4J002CD021
, 4J002CD051
, 4J002CM021
, 4J002CP022
, 4J002DA076
, 4J002DA096
, 4J002DE146
, 4J002DF016
, 4J002DJ006
, 4J002DJ016
, 4J002DJ046
, 4J002FD012
, 4J002FD016
, 4J002GJ01
, 4J040DC092
, 4J040DF052
, 4J040DF061
, 4J040DH021
, 4J040EB132
, 4J040EB142
, 4J040EC031
, 4J040EC041
, 4J040EC061
, 4J040EC121
, 4J040EC231
, 4J040EK032
, 4J040EL051
, 4J040HA066
, 4J040HA136
, 4J040HA206
, 4J040HA306
, 4J040HC02
, 4J040HC06
, 4J040HC15
, 4J040HC16
, 4J040HC23
, 4J040HC25
, 4J040HD43
, 4J040JA05
, 4J040JB02
, 4J040KA14
, 4J040KA16
, 4J040KA17
, 4J040KA32
, 4J040KA42
, 4J040LA07
, 4J040LA08
, 4J040MA02
, 4J040MA04
, 4J040MA10
, 4J040MB03
, 4J040NA20
, 5F047AA11
, 5F047BA23
, 5F047BA33
, 5F047BA34
, 5F047BA53
, 5F047BA54
, 5F047BB11
引用特許:
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